江门声表面谐振器曲线

体声波滤波器工艺FBAR与SMR-BAW对比。 目前 BAW 工艺有两种实现方式： 薄膜体声波谐振器（FBAR，film bulk acoustic resonator）以及固体装配型体声波谐振器（BAW-SMR，solidly mounted resonator）。 二者主要的区别在于声能的反射方式上的区别： FBAR依靠一个支持层与衬底之间的气腔实现能量反射，而BAW-SMR依赖衬底之上的布拉格反射板实现能量的反射。 在工艺上，FBAR更接近MEMS，而SMR更接近于集成电路的实现方式。 FBAR 工艺能够提供相对较好的能量反射，因此FBAR可以提供更大的带宽，即稍好的滤波性能，但是该差距不大。 而对于BAW-SMR型滤波器，因为其结构中有一条导热通路通向衬底，可以很好地通过衬底散热。 而 FBAR 由于谐振器每面都有气隙，因此导热能力较弱。 以Qorvo公司为的BAW-SMR滤波器供应商可以提供接近零温度漂移的滤波器。声表面波被瑞利发现，所以也被称为瑞利波。江门声表面谐振器曲线

物联网（IoT,theInternetofThings）作为互联网的延伸和扩展，能够实现人与物、物与物之间的信息交换和通信，达到万物相连的效果。物联网中的设备在通讯（2G至5G）、导航、WIFI等信号的发射和接收时均需要使用声表面波滤波器。随着物联网技术在汽车电子、智能家居、工控医疗等方面的普及，声表面波滤波器需求量将得到进一步释放。随着通讯技术的不断进步，声表面波滤波器的应用场景也将不断拓宽。未来5G通讯将具备高速率、低延时、多连接的特点，无线通信会在更多的新兴领域得到应用。作为射频前端的重要芯片，声表面波滤波器将迎来更广阔的市场空间。5G技术的应用场景韶关出口声表面谐振器资费SAW滤波器至少由两个换能器组成。

声表面波—SAW（SurfaceAcousticWave）就是在压电基片材料表面产生和传播、且振幅随深入基片材料的深度增加而迅速减少的弹性波。SAW滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片材料抛光面上制作两个声电换能器——叉指换能器（IDT）。它采用半导体集成电路的平面工艺，在压电基片表面蒸镀一定厚度的铝膜，把设计好的两个IDT的掩膜图案，利用光刻方法沉积在基片表面，分别作为输入换能器和输出换能器。其工作原理是输入换能器将电信号变成声信号，沿晶体表面传播，输出换能器再将接收到的声信号变成电信号输出。

等效电路分析采用电网络分析与综合理论，将梯型结构的SAW滤波器由单端对SAW谐振器来代替网络中的各个单元。此结构具有电感电容(LC)滤波器低损耗的优点，而且可承受大功率，体积较小。这种结构一般用来设计射频滤波器，工作频率范围为300～2 400 MHz，相对带宽为2%～6%， 插入损耗小于5 dB。设计单端对谐振器时，使并臂谐振器的反谐振频率与串臂谐振器的谐振频率相同。其中frp、fap、frs、fas分别为并臂、串臂谐振器的谐振频率和反谐振频率。根据梯型滤波器传输函数截止条件可知，串臂谐振器阻抗Zs和并臂谐振器阻抗ZP性质相同时，形成阻带；Zs、ZP性质相反，且Zs/ZP>－1时，形成通带；Zs/ZP<－1时，形成过渡带；Zs/ZP=－1时的频率点为截止频率。滤波器根据实现方式的不同可以分为LC滤波器、腔体滤波器、声学滤波器、介质滤波器等。

对于不同的滤波器分类，主要是从不同的滤波器特性需求来描述滤波器的不同特征。滤波器的这种众多分类方法所描述的滤波器不同的众多特征，集中体现出了实际工程应用中对滤波器的需求是需要综合考量的，也就是说对于用户需求来做设计时，需要综合考虑用户需求。滤波器选择时，首先需要确定的就是应该使用低通、高通、带通还是带阻的滤波器。常用的滤波器是低通跟带通。低通在混频器部分的镜像抑制、频率源部分的谐波抑制等有应用。带通在接收机前端信号选择、发射机功放后杂散抑制、频率源杂散抑制等方面使用。滤波器在微波射频系统中应用，作为一功能性部件，必然有其对应的电性能指标用于描述系统对该部件的性能需求。对应不同的应用场合，对滤波器某些电器性能特性有不同的要求。因为声表面波和衬底发生了强烈的耦合，所以其传播过程中的振幅和速度都会受到衬底参数的影响。江门声表面谐振器和晶体区别

声表面谐振器的主要特点是设计灵活性大。江门声表面谐振器曲线

声表面波技术是六十年代末期才发展起来的一门新兴科学技术领域，它是声学和电子学相结合的一门边缘学科。SAW,SurfaceAcousticWave,声表面波，简称声表，用这个技术做的滤波器称之为声表滤波器，即SAWF（SAWFilter）声表面波技术的发展相当迅猛，其应用领域从刚开始的雷达发展到现在几乎遍及整个无线电通讯，特别是移动通讯技术的高速发展，更进一步地推动了声表面波技术的发展。声表面波滤波器（SAWF）是利用压电陶瓷、钛酸钡晶体、铌酸锂、石英等，具有压电效应的材料制成，是利用压电晶体振荡器材料的压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种换能式无源带通滤波器。当晶体受到机械作用时，产生与压力成正比的电场现象。具有压电效应的晶体，在受到电信号的作用时，也会产生弹性形变而发出机械声波，就可以把电信号转换成声信号。这种声波只在晶体表面传播，因此称之为声表面波。江门声表面谐振器曲线

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